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用途 uses
超LSI制造工場(chǎng)、半導(dǎo)體制造工場(chǎng)、原子力研究中心、無塵室、層流設(shè)備、工作臺(tái)等其它要求超高潔凈度的場(chǎng)合。
Manufacturing lines for ULSI, manufacturing plants for semiconductors of 16M and above、cleanrooms、clean bench、clean booth, ect..
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